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예시)

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저자

Brain, M.
발행기관

SEMI
학술지명
SEMICON SOUTHWEST
권호사항

Vol.10 No.- [1995]
발행연도
1995년
작성언어
eng
주제어

SEMICON ; future fabs ; fabs
자료형태
학술저널
원정보자원
SEMICON SOUTHWEST
수록면
37-46 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
회의자료명
Emerging trends for future fabs
회의명
Session
회의장소
Austin; TX
회의날짜
1995; Oct
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