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Castañ ; eda, L. ; Silva-Gonzá ; lez, R. ; Gracia-Jimé ; nez, J. M. ; Herná ; ndez-Torres, M. E. ; Avendañ ; o-Alejo, M. ; Má ; rquez-Beltrá ; n, C. x. ; de la L. Olvera, M. ; Vega-Pé ; rez, J. ; Maldonado, A.
2010년
eng
1369-8001
1873-4081
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
80-85 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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