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      A surface micro machined angular rate sensor utilizing a vibrating MEMS structure on a silicon has been developed. These tuning fork angular rate sensor,s are extremely rugged, inherently balanced, and easy to fabricate. The device is fabricated using a temperature compensation method based on automatic gain control technique. A linearity of approximately 0.6%, limited by the on-chip electronics has been obtained with this new sensor. Tests of the sensor demonstrate that its performance is equivalent to that required for implementation of a yaw control system. Vehicle handling and safety are substantially improved using the sensor to implement yaw control.
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      A surface micro machined angular rate sensor utilizing a vibrating MEMS structure on a silicon has been developed. These tuning fork angular rate sensor,s are extremely rugged, inherently balanced, and easy to fabricate. The device is fabricated using...

      A surface micro machined angular rate sensor utilizing a vibrating MEMS structure on a silicon has been developed. These tuning fork angular rate sensor,s are extremely rugged, inherently balanced, and easy to fabricate. The device is fabricated using a temperature compensation method based on automatic gain control technique. A linearity of approximately 0.6%, limited by the on-chip electronics has been obtained with this new sensor. Tests of the sensor demonstrate that its performance is equivalent to that required for implementation of a yaw control system. Vehicle handling and safety are substantially improved using the sensor to implement yaw control.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 센서 제작 공정
      • 3. 온도 특성 향상 방안
      • 4. 결과 및 고찰
      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 센서 제작 공정
      • 3. 온도 특성 향상 방안
      • 4. 결과 및 고찰
      • 5. 결론
      • 감사의 글
      • 참고문헌
      • 저자소개
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      참고문헌 (Reference)

      1 "Yaw Rate Sensor for Vehicle Dynamics Control Systems" 1995

      2 "Surface- micromaching of Resonant Silicon Structure" 519 50-95,

      3 "Slide film damping in laterally driven microstructures" 1994

      4 "New Generation of Sensor Cluster for ESP and Future Vehicle Stabilizing Systems in Automotive Applications" 2003

      1 "Yaw Rate Sensor for Vehicle Dynamics Control Systems" 1995

      2 "Surface- micromaching of Resonant Silicon Structure" 519 50-95,

      3 "Slide film damping in laterally driven microstructures" 1994

      4 "New Generation of Sensor Cluster for ESP and Future Vehicle Stabilizing Systems in Automotive Applications" 2003

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      2010-10-01 평가 학술지 통합(등재유지)
      2007-01-01 평가 학술지 통합(기타) KCI등재
      2001-01-01 평가 등재학술지 유지(등재유지) KCI등재
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