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Toriumi, M. ; Ishikawa, T. ; Kodani, T. ; Koh, M. ; Moriya, T. ; Yamashita, T. ; Araki, T. ; Aoyama, H. ; Yamazaki, T. ; Furukawa, T.
2004년
eng
2166-2746
2166-2754
SCIE
학술저널
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY B MICROELECTRONICS AND NANOMETER STRUCTURES
27-30 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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