- 〈요지〉
- 1. CVD기술
- 2. TiN, TiC 그리고 Al₂O₃ 의 증착
- 3. PVD 기술
- 4. TiN의 reactive magnetron sputtering
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1987
Korean
KCI등재
학술저널
15-24(10쪽)
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