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Iwai, H. ; Ohguro, T. ; Morifuji, E. ; Yoshitomi, T. ; Kimijima, H. ; Momose, H. S. ; Inoh, K. ; Nii, H. ; Katsumata, Y.
1999년
eng
microelectronics ; SPIE ; MEMS ; packaging
1605-7422
2410-9045
학술저널
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
10-21 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0819434949
Design, characterization, and packaging for MEMS and microelectronics
Conference
1999; Oct
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Nonvolatile high-density high-performance phase-change memory [3891-299]
MEMS packaging and microassembly challenges [3891-100]
Application domains for synchrotron radiation sources of various energies [3893-500]