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Uno, S. ; Katsuyama, K. ; Noguchi, J. ; Sato, K. ; Oshima, T. ; Katsuyama, M. ; Hara, K.
2007년
eng
0040-6090
1879-2731
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
THIN SOLID FILMS
4960-4965 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Proceedings of the international symposium on dry process — DPS 2005
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