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2000년
dut
0167-9317
1873-5568
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MICROELECTRONICS ENGINEERING
47-52 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
Materials for advanced metallization; MAM' 99
European workshop; 3rd
Ostend, Belgium
1999; Mar
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