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2016년
eng
학술저널
Micro nanoscale heat and mass transfer international conference
V002T11A005-V00 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
Fifth International Conference on Micro/Nanoscale Heat and Mass Transfer (MNHMT 2016)
Biopolis, Singapore
Jan 2016
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One-Time Multi-Depth Silicon Etching Method Based on SiO~2 Masking Layer