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Sinha, S. ; Su, Q. ; Wen, L. ; Lee, F. ; Chiang, C. ; Cheng, Y.-K. ; Lin, J.-L. ; Harn, Y.-C.
2008년
eng
0894-6507
1558-2345
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
14-21 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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