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1999년
eng
0272-9172
학술저널
MATERIALS RESEARCH SOCIETY SYMPOSIUM PROCEEDINGS
3-14 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1558994769
In situ process diagnostics and modelling
Symposium
San Francisco; CA
1999; Apr
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In Situ Etch Rate Measurements by Alpha-Particle Energy Loss