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Chew, A. ; Au, H. H. ; Han, S. H. ; Neo, T. L. ; Tan, J. ; Chai, K. W. ; Chua, S.
2007년
eng
0894-6507
1558-2345
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
195-200 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Special Section on The International Symposium on Semiconductor Manufacturing
Voltage Contrast for Gate-Leak Failures Detected by Electron Beam Inspection
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