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      Nanoelectromechanical Resonator Design and Performance Analysis

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      https://www.riss.kr/link?id=A77058792

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      다국어 초록 (Multilingual Abstract)

      We describe a method for the detection of nanometer scale displacements of nanoelectromechanical resonators. We also present an analysis of the mechanical motion of these devices. We evaluate the effectiveness of the detection technique by detecting d...

      We describe a method for the detection of nanometer scale displacements of nanoelectromechanical resonators. We also present an analysis of the mechanical motion of these devices. We evaluate the effectiveness of the detection technique by detecting displacements from a series of nanomechanical doubly clamped beam resonators with decreasing dimensions.

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      목차 (Table of Contents)

      • ABSTRACT
      • 1. INTRODUCTION
      • 2. EXPERIMENT
      • 3. ANALYSIS OF THE RESONANCE FREQUENCY SHIFT IN ELECTROSTATIC ACTUATION
      • 4. EXPERIMENTAL RESULTS
      • ABSTRACT
      • 1. INTRODUCTION
      • 2. EXPERIMENT
      • 3. ANALYSIS OF THE RESONANCE FREQUENCY SHIFT IN ELECTROSTATIC ACTUATION
      • 4. EXPERIMENTAL RESULTS
      • 5. CONCLUSIONS
      • REFERENCES
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