고순도 공업용수 제조 공정 신뢰성 평가를 위한 실증 장치부품 선정 및 평가인자 도출

국문 초록 (Abstract)

최근 일본의 수출규제와 미중 무역분쟁과 같은 국제이슈에 따라 경제 안보차원에서 주요 산업의 소재, 부품 및 장비의 국산화 추진이 활발히 이루어지고 있다. 이 중 반도체 생산은 국내 주력산업 중 하나로 미세한 불순물에도 수율에 큰 영향을 주어 고순도 공업용수의 사용이 필수적이나, 공업용수 제조에 사용되는 소재 및 공정 대부분이 일본을 포함한 해외 제품에 의존하고 있다. 따라서 고순도 공업용수 제조에 이용되는 주요 장비의 국산화가 필수적이며, 이를 위해서 개발되는 국산화 장비의 성능 및 신뢰성 평가방법 구축을 통한 기술 검증 체계 구축이 필요하다. 본 연구에서는 문헌조사를 통한 고순도 공업용수 제조를 위한 주요 소재 및 장비 선정과 신뢰성 평가방안을 도출하고자 하였으며, 이를 바탕으로 향후 개발되는 고순도 공업용수 공정 관련 장비 및 설계, 운영 국산화 기술 성능평가 및 인검증 체계를 구축하는데 이바지 할 수 있을 것으로 판단된다.