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      Micro-Factory 공정간 마이크로 부품 검사 프로브 개발

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      https://www.riss.kr/link?id=A109099475

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      다국어 초록 (Multilingual Abstract)

      This paper shows a non-contact optical method to inspect micron scale parts which will be manufactured in micro-factory system. This inspection system should have some characteristics like a small size, flexibility, and high measuring speed. In the vi...

      This paper shows a non-contact optical method to inspect micron scale parts which will be manufactured in micro-factory system. This inspection system should have some characteristics like a small size, flexibility, and high measuring speed. In the viewpoint of measuring capabilities, it also has resolution under micron scale with measuring range over millimeter scale. Two methods will be presented in this paper, one is Moire and the other is white-light scanning interferometry. Also some experimental results will be presented to show the possibilities of the proposed inspection system.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 비접촉 측정법
      • 3. 그림자식 모아레를 이용한 측정법
      • 4. 마이크로 렌즈에 대한 적용
      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 비접촉 측정법
      • 3. 그림자식 모아레를 이용한 측정법
      • 4. 마이크로 렌즈에 대한 적용
      • 5. 결론
      • 후기
      • 참고문헌
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