http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
https://www.riss.kr/link?id=O138347892
1985년
eng
2166-2746
2166-2754
SCIE
학술저널
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena
1581-1586 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0
상세조회0
다운로드
Plasma‐processed positive and negative resist behavior of obliquely deposited amorphous P–Se films
Application of polymer–bisazide composite system negative resists to electron beam lithography
Flow visualization in low pressure chambers using laser‐induced biacetyl phosphorescence