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1999년
eng
0161-6374
2576-1579
학술저널
PROCEEDINGS- ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV
169-178 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1566771978
Low and high dielectric constant materials: materials science, processing and reliability issues: Dielectric material integration for microelectronics
International symposium; 3rd
San Diego; CA
1998; May
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