- 1. 서론
- 2. 초전도 센세 및 저온 작동 센서 냉각용 저온 발생 기술
- 3. 저온 유지 기술
- 4. 진공 생성 기술
- 5. 결론
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2002
Korean
555
SCOPUS,KCI등재
학술저널
9-17(9쪽)
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미세탐침기반 기계-화학적 리소그래피공정에 의한 미이크로/나노패턴 제작