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2003년
eng
0161-6374
2576-1579
학술저널
PROCEEDINGS-ELECTROCHEMICAL SOCIETY PV
283-290 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
1566773938
Electrochemical Society
Meeting; 203RD
Paris
2003; Apr
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Kinetic Modeling for Multi-Component Thin Film Growth in Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
Gas-Phase and Surface Reactions in Plasma Enhanced Chemical Etching of High-k Dielectrics