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2008년
eng
0948-1907
1521-3862
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION -WEINHEIM-
33-39 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Formation of the Porous Structure of Silicon Dioxide Thin Layers During Silane Oxidation
Guide for Authors Chem. Vap. Deposition 1-2/2008