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2011년
eng
0730-9244
2576-7208
학술저널
IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON PLASMA SCIENCE
407 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
9781612843308 (pbk.)
Plasma science; ICOPS 2011
International Conference
Chicago, IL
2011; Jun
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Investigation of Low Pressure Capacitively Coupled Plasma Behavior Using PIC-MCC Simulation