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A New Method for the Lifetime Determination of Submicron Metal Interconnects by Means of a Parallel Test Structure
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- 저자
- 발행기관
- 학술지명
- 권호사항
-
발행연도
2004년
-
작성언어
eng
- 주제어
-
자료형태
학술저널
-
원정보자원
INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS; 24TH 2004
-
수록면
633-636 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
-
국제 표준도서번호
0780381661
-
회의자료명
International conference on microelectronics
-
회의명
24th
-
회의장소
Nis, Serbia and Montenegro
-
회의날짜
2004; May
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