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2000년
eng
1369-8001
1873-4081
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
71-78 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
Ab initio approaches to microelectronics materials and process modelling
Symposium L
Strasbourg, France
1999; Jun
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