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      Study on Substrate Temperature Field during its Swing Movement in Miniature HFCVD System

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      https://www.riss.kr/link?id=O49178494

      • 저자
      • 발행기관
      • 학술지명
      • 권호사항
      • 발행연도

        2008년

      • 작성언어

        eng

      • 주제어
      • Print ISSN

        1660-9336

      • Online ISSN

        1662-7482

      • 자료형태

        학술저널

      • 원정보자원

        APPLIED MECHANICS AND MATERIALS

      • 수록면

        599-604   [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]

      • 국제 표준도서번호

        9780878494705 (pbk.); 0878494707 (pbk.)

      • 회의자료명

        e-Engineering & digital enterprise technology

      • 회의명

        Conference

      • 회의날짜

        2007

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