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예시)

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ⅰ ⅱ ⅲ ⅳ ⅴ ⅵ ⅶ ⅷ ⅸ ⅹ Ⅰ Ⅱ Ⅲ Ⅳ Ⅴ Ⅵ Ⅶ Ⅷ Ⅸ Ⅹ

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저자

Michelon, J. ; Bruynseraede, C. ; Castro, D. T. ; Roussel, P. ; Hoofman, R. J. O. M. ; Maex, K.
발행기관

Materials Research Society,
학술지명
ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE IN
권호사항

Vol.- No.- [2004]
발행연도
2004년
작성언어
eng
주제어

Advanced metallization ; AMC ; ADMETA ; Metallization
자료형태
학술저널
원정보자원
ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE IN
수록면
253-258 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
1558998144
회의자료명
Advanced metallization conference
회의명
21st
회의장소
San Diego, CA
회의날짜
2004; Oct
ⓒ COPYRIGHT THE BRITISH LIBRARY BOARD: ALL RIGHT RESERVED

ADMETA Keynote Address: 65 nm-Node Low-k/Cu Interconnect in "Asuka" Project-Porous Low-k for Manufacturing
- Materials Research Society,
- Kobayashi, N.
- 2004
ADMETA Keynote Address: Research on CMOS Interconnect Technologies in the Grenoble Area
- Materials Research Society,
- Brillouet, M.
- 2004
90 nm SiCOH Technology in 300 mm Manufacturing
- Materials Research Society,
- Clevenger, L.; Yoon, M.; Edelstein, D.; Cowley, A.; Davis, C.; Agarwala, B.; Biolsi, P.; Chanda, K.; Cohen, S.; Cote, W.
- 2004
Advanced Analog Metal and Passives Integration
- Materials Research Society,
- Stamper, A. K.; Chinthakindi, A. K.; Coolbaugh, D. D.; Downes, K.; Eshun, E. E.; Erturk, M.; Groves, R. A.; Lindgren, P.; He, Z.-X.; Ramachandran, V.
- 2004