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예시)

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저자

Gorecki, C.
발행기관

SPIE
학술지명
Progress in Biomedical Optics and Imaging(SPIE Proceedings Series)
권호사항

Vol.- No.3825 [1999]
발행연도
1999년
작성언어
eng
주제어

Microsystems metrology ; SPIE
Print ISSN
1605-7422
Online ISSN
2410-9045
자료형태
학술저널
원정보자원
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
수록면
47-52 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
081943311X
회의자료명
Microsystems metrology and inspection
회의명
Conference
회의장소
Munich; Germany
회의날짜
1999; Jun
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