1 A. D. Johnson, 17 : 491-, 2004
2 H. Motomura, 390 : 134-, 2001
3 G. -H. Kim, 83 : 2504-, 2006
4 J. J. Spivey, 7 : 31-, 1988
5 M. Radoiu, 164 : 39-, 2009
6 S. Choi, 11 : 65-, 2014
7 H. Motomura, 374 : 243-, 2000
8 H. Ohmi, 157 : D85-, 2010
9 N. Krishnan, IEEE 19-24, 2003
10 M. B. Chang, 45 : 4101-, 2006
1 A. D. Johnson, 17 : 491-, 2004
2 H. Motomura, 390 : 134-, 2001
3 G. -H. Kim, 83 : 2504-, 2006
4 J. J. Spivey, 7 : 31-, 1988
5 M. Radoiu, 164 : 39-, 2009
6 S. Choi, 11 : 65-, 2014
7 H. Motomura, 374 : 243-, 2000
8 H. Ohmi, 157 : D85-, 2010
9 N. Krishnan, IEEE 19-24, 2003
10 M. B. Chang, 45 : 4101-, 2006
11 I. Chun, 579 : 136-, 2015
12 S. Nakamura, 42 : 5759-, 2003
13 K. Fujita, 17 : 957-, 1999
14 R. Raju, 42 : 280-, 2003
15 A. D. Johnson, 43 : 103-, 2000
16 Y. Tajima, 18 : 495-, 2005
17 K. Suzuki, 21 : 668-, 2008
18 H. Kawata, 84 : 1140-, 2007
19 H. -K. Ryu, 38 : 125-, 2007
20 송창호, "수소 가스를 첨가한 글라이딩 아크 플라즈마의 과불화화합물(PFCs) 가스 분해 특성" 한국조명.전기설비학회 25 (25): 65-70, 2011
21 김정은, "불화가스 분리를 위한 분리막 적용 연구" 한국폐기물자원순환학회 30 (30): 173-180, 2013
22 남승은, "불화 온실 가스 저감 및 분리회수 기술의 연구개발 동향" 한국막학회 23 (23): 189-203, 2013
23 박현우, "과불화합물(PFCs) 가스 처리를 위한 고효율 열플라즈마 스크러버 기술 개발 동향" 한국공업화학회 29 (29): 10-17, 2018
24 김가연, "Comparative Study of Global Warming Effects during Silicon Nitride Etching Using C3F6O/O2 and C3F6/O2 Gas Mixtures" 대한금속·재료학회 11 (11): 93-99, 2015
25 나병기, "Adsorption and desorption characteristics of CF4 on fixed bed column" 한국화학공학회 25 (25): 1518-1523, 2008