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1993년
eng
1012-0394
1662-9779
학술저널
DIFFUSION AND DEFECT DATA PART B SOLID STATE PHENOMENA
403-408 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
3908450004
Gettering and defect engineering in semiconductor technology
5th International autumn meeting
Chossewitz; Germany
1993; Oct
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Formation of High Quality SiGe/Si Heterostructures
Liquid Phase Epitaxy of SiGe Structures