1 P. Jeanjean., 6 : 1130-, 1991
2 J. Lndhard., 33 : 14-, 1963
3 B. S. So., 2005
4 K. H. Kim, 10 : S226-, 2010
5 K. -C. Park., 7 : G116-, 2004
6 D. -M. Kim., 475 : 342-, 2005
7 S. Uchikoga., 383 : 19-, 2001
8 J. Lindhard., 124 : 128-, 1961
9 B.-S. So, 10 : J61-, 2007
10 N. Sasaki., 40 : 632-, 2009
1 P. Jeanjean., 6 : 1130-, 1991
2 J. Lndhard., 33 : 14-, 1963
3 B. S. So., 2005
4 K. H. Kim, 10 : S226-, 2010
5 K. -C. Park., 7 : G116-, 2004
6 D. -M. Kim., 475 : 342-, 2005
7 S. Uchikoga., 383 : 19-, 2001
8 J. Lindhard., 124 : 128-, 1961
9 B.-S. So, 10 : J61-, 2007
10 N. Sasaki., 40 : 632-, 2009
11 D. -H. Kim., 520 : 6581-, 2012
12 B. -S. So., 47 : 3048-, 2012
13 L. Tay., 22 : 943-, 2004
14 J. Levinson., 53 : 1193-, 1982
15 J. -P. Colinge., ED-30 : 197-, 1983
16 J. Y. W. Seto, 46 : 5247-, 1982
17 J. Fossum., ED-30 : 933-, 1983
18 J. W. Mayer., "Ion Implantation in Semiconductors: Silicon and Germanium" Academic Press 1970
19 C. R. Brundle., "Encyclopedia of Materials Characterization: Surfaces, Interfaces, Thin Films" Manning Pulications Co. 1992