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https://www.riss.kr/link?id=O39619351
1997년
eng
0094-243X
1551-7616
학술저널
AIP CONFERENCE PROCEEDINGS
413-416 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
156396709x
Radio frequency power in plasmas
Topical conference; 12th
Savannah; GA
1997; Apr
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