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Ohtake, H. ; Tagami, M. ; Tada, M. ; Ueki, M. ; Abe, M. ; Saito, S. ; Ito, F. ; Hayashi, Y.
2006년
eng
0894-6507
1558-2345
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
455-464 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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