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1997년
eng
1439-4502
학술저널
SYMPOSIUM GYRO TECHNOLOGY
4 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
Gyro technology
Symposium
Stuttgart; Germany
1997; Sep
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Performance and Design of a Silicon Micromachined Gyro
Improved Rate Gyroscope Designs Designated for Fabrication by Modem Deep Silicon Etching
Micromechanical Vibratory Rate Gyroscopes Fabricated in Conventional CMOS
A Capacitive Accelerometer as an Example for Surface Micromachined Inertial Sensors