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Iwasaki, K. ; Sato, K. ; Aoyama, K. ; Numao, S. ; Honma, I. ; Sugano, S. ; Hoshina, T. ; Sato, T.
2003년
eng
0894-6507
1558-2345
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
360-364 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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