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      플라즈마에 의해 성장된 SiO2 막에서 산소전하밀도가 Flatband Voltage 의 이동에 미치는 영향 = Effect of Oxide Charge Density on the Flatband Voltage Shift at Grown - SiO2 Films Using Plasma

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      The silicon oxide films were grown by Electron Cyclotron Resonance(ECR) diffusion and CVD method at low temperature. The flatband voltage(V_(FB)) was minimum at 200W, and reached a steady value at microwave powers higher than 400W. Also The flatband voltage(V_(FB)) was proportional to interface oxide charge density(Q_(it)+Q_f). For high quality SiO₂ film, consequently, it was desirable to grow SiO₂ films at lower microwave power.
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      The silicon oxide films were grown by Electron Cyclotron Resonance(ECR) diffusion and CVD method at low temperature. The flatband voltage(V_(FB)) was minimum at 200W, and reached a steady value at microwave powers higher than 400W. Also The flatband v...

      The silicon oxide films were grown by Electron Cyclotron Resonance(ECR) diffusion and CVD method at low temperature. The flatband voltage(V_(FB)) was minimum at 200W, and reached a steady value at microwave powers higher than 400W. Also The flatband voltage(V_(FB)) was proportional to interface oxide charge density(Q_(it)+Q_f). For high quality SiO₂ film, consequently, it was desirable to grow SiO₂ films at lower microwave power.

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