- 1. 서론
- 2. 이론 및 원리
- 3. 실험장치 및 제목
- 4. 실험결과 및 고찰
- 5. 결론
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2006
Korean
550
학술저널
481-482(2쪽)
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LCD 부품 검사를 위한 백색광 주사 간섭계(White light Scanning Interferometry) autofocusing 장치 개발
LCD glass 위의 Pole 높이 측정을 위한 백색광 간섭계 개발
저 배율 렌즈를 이용한 Wafer 검사용 백색광 주사간섭계의 대면적 광학계 구성과 알고리즘 연구