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RISS 인기검색어
https://www.riss.kr/link?id=A100862276
정원준 ; 김동빈 ; 박상현 ; 임성규 ; 김용성 ; 이창희 ; 윤주영 ; 김태성 ; 신재수 ; 강상우
한국진공학회
한국진공학회 학술발표회초록집
Vol.2015 No.8 [2015]
2015
Korean
3D NAND ; ACL ; hardmask ; Raman spectroscopy ; etch rate
420
학술저널
http://www.kvs.or.kr
92-92(1쪽)
DBpia
0
산화물 박막 증착 시 발생하는 산소 음이온 측정
Plasma Surface Modification of Patterned Polyurethane Acrylate (PUA) Film for Biomedical Applications
Electrically Conductive PEDOT:PSS/Acrylamide organogels
Doped TiO₂와 coupled TiO₂ 제조 및 다양한 광원하의 유기물 분해 특성 평가
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