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Kodera, K. ; Sato, H. ; Kanai, H. ; Seino, Y. ; Kihara, N. ; Kasahara, Y. ; Kobayashi, K. ; Miyagi, K. ; Minegishi, S. ; Yatsuda, K.
2014년
eng
0277-786X
1996-756X
학술저널
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
9049 26 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Closed-loop high-speed 3D thermal probe nanolithography (Invited Paper) [9049-9]