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2006년
eng
0094-243X
1551-7616
학술저널
AIP CONFERENCE PROCEEDINGS
58-61 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0735403651
International conference on ion implantation technology; Ion implantation technology; IIT 2006
16th
Marseille, France
2006; Jun
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Influence of Energy Contamination at S/D-Extension Dopant Implantation Using Ultra Fast Annealing