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서울 : 서울대학교 대학원, 2009
학위논문(석사) -- 서울대학교 대학원 , 전기. 컴퓨터공학부 , 2009.2
2009
한국어
2-자유도 ; 스캐닝미러 ; 경사진 바닥전극 ; 도금 ; 2-DOF ; Scanning Micromirror ; Sloped electrode ; Electroplating
621.3 판사항(20)
서울
iv, 69장 : 삽도 ; 26 cm.
참고문헌 수록.
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