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2023년
eng
1012-0394
1662-9779
학술저널
Diffusion and defect data
325-330 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
16th International symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces, UCPSS 2023
Bruges, Belgium
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Silicon Nitride Selective Functionalization with Aqueous Cellulose
Wet Cleaning/Etching of NiAl Thin Film