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      IGZO의 조성비율과 전구체 재료에 따른 전기적 특성 향상에 대한 연구

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      https://www.riss.kr/link?id=A108782506

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      다국어 초록 (Multilingual Abstract)

      In this paper, we study electrical property of indium gallium zinc oxide (IGZO) by varying composition ratio and precursor material of IGZO solution. IGZO film is deposited by sol-gel process, and the film is analyzed by measuring I-V curve using prob...

      In this paper, we study electrical property of indium gallium zinc oxide (IGZO) by varying composition ratio and precursor material of IGZO solution. IGZO film is deposited by sol-gel process, and the film is analyzed by measuring I-V curve using probe station in direct contact. Our result show that the higher ratio of indium in the solution, the greater reactivity to voltage. Also, the solution composed of Zinc nitrate hydrate has a higher voltage response than the solution composed of Zinc acetate dihydrate.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • Ⅰ. 서론
      • Ⅱ. 본론
      • Ⅲ. 결과
      • Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
      • Abstract
      • Ⅰ. 서론
      • Ⅱ. 본론
      • Ⅲ. 결과
      • Ⅳ. 결론 및 향후 연구 방향
      • 참고문헌
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