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Liuqing Yang ; Jianfeng Huang ; Huimin Liu ; Songtian Li ; Yongjun Han ; Guang Qi ; Manfei Lv ; Ye Shang ; Jinhua Ye
2020년
eng
0957-4522
1573-482X
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
Journal of Materials Science: Materials in Electronics
8564–8577 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Optimization of co-sputtered CrxAl1−xN thin films for piezoelectric MEMS devices