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다국어 초록 (Multilingual Abstract)
Positioning stages which have ultra high positioning accuracy are widely used in IT or NT industry. In this paper, an ultra precision stage which consists of flexure hinges and piezoelectric actuator is designed and fabricated. The effect of the natural vibration mode on the positioning accuracy was studied using FEM. From the analysis it was found that the supporting linkages
moved in several modes and the working table could he tilted, those could degrade the positioning performance.
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