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https://www.riss.kr/link?id=O37814876
2001년
eng
1071-9032
2158-1029
학술저널
PROCEEDINGS OF THE IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONIC TEST STRUCTURES
115-118 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
0780365119; 0780365127
International conference on microelectronic test structures
14th
Kobe, Japan
2001; Mar
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6.2 Use of Electrical Test Structures to Characterize Trench Profiles Etched on SOI Wafers