- ABSTRACT
- 1. 서론
- 2. 벨로우즈 동적 모델링
- 3. 결과 및 검증
- 4. 결론
http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
https://www.riss.kr/link?id=A76213272
2001
Korean
550
학술저널
659-663(5쪽)
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MEMS actuator를 이용한 나노 레벨 웨이퍼 형상 측정