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예시)

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저자

Smimov, A. P.
발행기관

SPIE
학술지명
Progress in Biomedical Optics and Imaging(SPIE Proceedings Series)
권호사항

Vol.- No.1991 [1993]
발행연도
1993년
작성언어
eng
주제어

diffractometry ; scatterometry ; SPIE
Print ISSN
1605-7422
Online ISSN
2410-9045
자료형태
학술저널
원정보자원
PROCEEDINGS- SPIE THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING
수록면
87-94 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
0819412406
회의자료명
Diffractometry and scatterometry
회의명
Conference
회의장소
Warsaw
회의날짜
1993; May
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