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예시)

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저자

Ackaert, J. ; Wang, Z. ; De Backer, E. ; Coppens, P.
발행기관

American Vacuum Society, Northern California Chapter
학술지명
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA PROCESS-INDUCED DAMAGE
권호사항

Vol.6 No.- [2001]
발행연도
2001년
작성언어
eng
주제어

plasma-induced damage ; process-induced damage ; P2ID
자료형태
학술저널
원정보자원
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON PLASMA PROCESS-INDUCED DAMAGE
수록면
120-123 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
국제 표준도서번호
096515775X; 0965157768
회의자료명
Plasma- and process-induced damage
회의명
International symposium; 6th
회의장소
Monterey, CA
회의날짜
2001; May
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