http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
https://www.riss.kr/link?id=O120564558
2022년
eng
0277-786X
1996-756X
학술저널
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering
122920P-122920P [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
9781510656390
International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2022
Monterey, California, United States
0
상세조회0
다운로드
Direct print EUV patterning of tight pitch metal layers for Intel 18A process technology node
EUV optics at ZEISS: status and outlook