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2009년
eng
0040-6090
1879-2731
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
THIN SOLID FILMS
3427-3430 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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Fifth international conference on hot-wire CVD (Cat-CVD) process
New application of Cat-CVD technology and recent status of industrial implementation
Degradation and silicidation of Ta- and W-filaments for different filament temperatures