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2002년
eng
학술저널
INTERNATIONAL DIELECTRICS AND CONDUCTORS FOR ULSI MULTILEVEL INTERCONNECTION CONFERENCE
107-113 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
International dielectrics & conductors for ULSI multilevel interconnection conference
8th
Santa Clara, CA
2002; Feb
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LOW-k DIELECTRICS FOR ULSI INTERCONNECT
Preparation of Low-k Porous Silica Film Incorporated With Ethylene Group